ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА, 2004, № 2, с. 166-167
_ ПРИБОРЫ, ИЗГОТОВЛЕННЫЕ
--В ЛАБОРАТОРИЯХ
УДК 621.382.32
АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК М.Д.П.-ТРАНЗИСТОРОВ
© 2004 г. И. В. Климов, Ю. М. Листопадов, Р. А. Яковлев
Поступила в редакцию 25.08.2003 г.
'Комплексная установка на базе персонального компьютера позволяет измерять в автоматическом режиме подпороговые вольт-амперные характеристики, характеристики зарядовой накачки и осуществлять модельное воздействие на транзисторы путем лавинной инжекции.
В установке использованы промышленные измерительные приборы, что позволяет воспроизвести ее в любой лаборатории. Совмещение при исследовании полевых транзисторов методов под-пороговых характеристик и зарядовой накачки является оптимальным по простоте и информативности. К преимуществам такого решения можно отнести, во-первых, возможность определения некоторых параметров (подвижности носителей в канале, порогового напряжения и напряжения середины зоны) только методом подпороговых характеристик, а во-вторых, возможность оценки неоднородности встроенного в диэлектрик заряда из сравнения величин средней плотности поверхностных состояний.
Установка, блок-схема которой представлена на рисунке, содержит следующие приборы: гене-
ратор сигналов специальной формы Гб-34; вольтметр В7Э-42; вольтметр В7-40/3; два программируемых источника питания ТЕС-П2А; устройство коммутационное УК (блок реле), соединенное с измерительными ячейками для транзисторов Тр; универсальный источник питания ИП; компьютер IBM PC/XT; интерфейсные платы КОП, МИП.
Вольтметры В7Э-42 и В7-40/3 управляются от компьютера по каналу общего пользования КОП. Для управления источниками ТЕС-П2А и устройством коммутации создана многофункциональная интерфейсная плата МИП. Питание реле (5 В) подается от независимого источника питания ИП.
МИП содержит буферы КР1533АП6 (х1), К555АП6 (х2), дешифраторы К555ИД7 (х2), порты ввода-вывода КР580ВВ55А. Гальваническая развязка между МИП и устройством коммутации осуществляется через восемь оптопар АОТ110А, светодиодами которых управляют две микросхемы с открытым коллекторным выходом КР1533ЛН2.
Установка используется для определения следующих электрофизических параметров
Ы.
ТЕС-П2А
Гб-34
-к
ЭВМ
МИП КОП
Ы.
ТЕС-П2А
1Z
УК
7Т
3Z
и-
ы.
В7Э-42
1Z.
В7-40/3
ИП
Тр
АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА
167
м.д.п.-транзисторов: порогового напряжения, напряжения плоских зон, подвижности носителей в канале, объемного заряда в окисле, реальной средней плотности поверхностных состояний, обнаружения деградированных областей вблизи стока и истока.
Основные технические характеристики: измеряемый ток 10-12-10-3 А; частота треугольных импульсов 0.1-100 кГц; амплитуда импульсов 0-10 В; постоянное напряжение смещения от -50 до +50 В; максимальная погрешность измерения тока 7.5%.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Назаров А.И.,Листопадов Ю.М. // Микроэлектроника. 1994. Т. 23. Вып. 4.
2. Новиков Е.В., Калашников O.A., Гуляев С.Э. Разработка устройств сопряжения. М.: ЭКОМ, 1998.
3. Фролов A.B., Фролов Г.В. Аппаратное обеспечение IBM PC. В двух частях. М.: Диалог-МИФИ, 1992. Часть 1, 2.
Адрес для справок: Россия, Карелия, Петрозаводск, ул. Ленина, 33, Петрозаводский государственный университет, кафедра физики твердого тела; тел. 8-(814-2)-711-045. E-mail: iklimov@psu.karelia.ru, romnd@mail.ru.
ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА < 2 2004
Для дальнейшего прочтения статьи необходимо приобрести полный текст. Статьи высылаются в формате PDF на указанную при оплате почту. Время доставки составляет менее 10 минут. Стоимость одной статьи — 150 рублей.